|
|
ion source
zhì pǔ yí de zhù yào zǔ chéng zhī yī， shí xiàn yàng pǐn lí zǐ huà de qū yù。 yóu diàn lí shì、 lí zǐ shù de jiā sù chǎng、 jù jiāo tòu jìng děng gòu chéng。 tā de zuò yòng shì shǐ bèi fēn xī wù diàn lí， biàn chéngfèn zǐ lí zǐ huò suì piàn lí zǐ。
lí zǐ yuán de zhǒng lèi hěn duō， zhù yào yòu diàn zǐ diàn lí yuán（ ei）、 huà xué diàn lí yuán（ ci）、 shè pín huǒ huā yuán（ rfs）、 diàn gǎn 'ǒu hé děng lí zǐ tǐ lí zǐ yuán （ icp）、 chǎng zhì diàn lí yuán（ fi）、 chǎng jiě xī diàn lí yuán（ fd）、 kuài yuán zǐ hōng jī yuán（ fab）、 jī guāng jiě xī diàn lí yuán（ ld）、 rè pēn wù diàn lí yuán（ ts）、 diàn pēn wù diàn lí yuán（ esi） děng。 |
|
lí zǐ yuán shì shǐ zhōng xìng yuán zǐ huò fènzǐ diàn lí， bìng cóng zhōng yǐn chū lí zǐ shù liú de zhuāng zhì。 tā shì gè zhǒng lèi xíng de lí zǐ jiā sù qì、 zhì pǔ yí、 diàn cí tóng wèi sù fēn lí qì、 lí zǐ zhù rù jī、 lí zǐ shù kè shí zhuāng zhì、 lí zǐ tuī jìn qì yǐ jí shòu kòng jù biàn zhuāng zhì zhōng de zhōng xìng shù zhù rù qì děng shè bèi de bù kě quē shǎo de bù jiàn。
qì tǐ fàng diàn、 diàn zǐ shù duì qì tǐ yuán zǐ ( huò fènzǐ ) de pèng zhuàng， dài diàn lì zǐ shù shǐ gōng zuò wù zhì jiàn shè yǐ jí biǎo miàn diàn lí guò chéng dōunéng chǎn shēng lí zǐ， bìng bèi yǐn chū chéng shù。 gēn jù bù tóng de shǐ yòng tiáo jiàn hé yòng tú， mù qián yǐ yán zhì chū duō zhǒng lèi xíng de lí zǐ yuán 。 shǐ yòng jiào guǎng fàn de yòu hú fàng diàn lí zǐ yuán 、 PIG lí zǐ yuán 、 shuāng děng lí zǐ tǐ lí zǐ yuán hé shuāng péng yuán zhè xiē yuán dōushì yǐ qì tǐ fàng diàn guò chéng wéi jī chǔ de , cháng bèi lóng tǒng dì chēng wéi hú yuán gāo pín lí zǐ yuán zé shì yóu qì tǐ zhōng de gāo pín fàng diàn lái chǎn shēng lí zǐ de， yě yòu guǎng fàn de yòng tú。 xīn xíng zhòng lí zǐ yuán de chū xiàn， shǐ zhòng lí zǐ de diànhè tài xiǎn zhù tí gāo , qí zhōng jiào chéng shú de yòu diàn zǐ huí xuán gòng zhèn lí zǐ yuán (ECR) hé diàn zǐ shù lí zǐ yuán (EBIS)。 fù lí zǐ yuán xìng néng jiào hǎo de yòu zhuǎn hé xíng hé jiàn shè xíng liǎng zhǒng。 zài yī dìng tiáo jiàn xià， jī yú qì tǐ fàng diàn guò chéng de gè zhǒng lí zǐ yuán ， dōunéng tí gōng yī dìng de fù lí zǐ shù liú。
lí zǐ yuán shì yī mén jù yòu guǎng fàn yìng yòng lǐng yù de xué kē， zài xǔ duō jī chǔ yán jiū lǐng yù rú yuán zǐ wù lǐ、 děng lí zǐ huà xué、 hé wù lǐ děng yán jiū zhōng， lí zǐ yuán dōushì shí fēn zhòng yào bù kě quē shǎo de shè bèi。 |
|
1、 gāo pín lí zǐ yuán
lì yòng xī bó qì tǐ zhōng de gāo pín fàng diàn xiàn xiàng shǐ qì tǐ diàn lí， yī bān yòng lái chǎn shēng dī diànhè tài zhèng lí zǐ， yòu shí yě cóng zhōng yǐn chū fù lí zǐ， zuò wéi fù lí zǐ yuán shǐ yòng。
zài gāo pín diàn chǎng zhōng， zì yóu diàn zǐ yǔ qì tǐ zhōng de yuán zǐ ( huò fènzǐ ) pèng zhuàng， bìng shǐ zhī diàn lí。 dài diàn lì zǐ bèi zēng de jiēguǒ， xíng chéng wú jí fàng diàn， chǎn shēng dà liàng děng lí zǐ tǐ。 gāo pín lí zǐ yuán de fàng diàn guǎn yī bān yòng pài lè kè sī bō lí huò shí yīng guǎn zhì zuò。 gāo pín chǎng kě yóu guǎn wài luó xiàn guǎn xiàn juàn chǎn shēng， yě kě yóu tào zài guǎn wài de huán xíng diàn jí chǎn shēng。 qián zhě chēng wéi diàn gǎn 'ǒu hé , hòu zhě chēng wéi diàn róng 'ǒu hé gāo pín zhèn dàng qì pín shuài wéi 10 ～ 10Hz， shū chū gōng shuài zài shù bǎi wǎ yǐ shàng。
cóng gāo pín lí zǐ yuán zhōng yǐn chū lí zǐ kě yòu liǎng zhǒng fāng shì。 yī zhǒng shì zài fàng diàn guǎn dǐng duān chā rù yī gēn wū sī zuò wéi zhèng jí， zài fàng diàn guǎn wěi duān zhuāng yī dài kǒng fù diàn jí， bìng bǎ gāi kǒng zuò chéng guǎn xíng， cóng zhōng yǐn chū lí zǐ liú。 lìng yī zhǒng fāng shì shì bǎ zhèng jí zuò chéng mào xíng， zhuāng zài yǐn chū diàn jí fù jìn， ér fàng diàn qū zé zài tā de lìng yī cè。 bù guǎn cǎi yòng nǎ zhǒng yǐn chū fāng shì， jīn shǔ diàn jí dōuyào yòng shí yīng huò bō lí bāo qǐ lái， yǐ jiǎn shǎo lí zǐ zài jīn shǔ biǎo miàn de fù hé。
zài gāo pín fàng diàn qū yù zhōng jiā yòu héng dìng cí chǎng shí， yóu yú gòng zhèn xiàn xiàng kě tí gāo fàng diàn qū yù zhōng de lí zǐ nóng dù。 yòu shí， hái zài yǐn chū qū yù jiā fēi jūn yún cí chǎng lái gǎi shàn yǐn chū。
2、 hú fàng diàn lí zǐ yuán
zài jūn yún cí chǎng zhōng， yóu yīn jí rè fā shè diàn zǐ wéi chí qì tǐ fàng diàn de lí zǐ yuán 。 wèile jiǎn shǎo qì hào， fàng diàn qū yù wǎng wǎng shì fēng bì de。 yáng jí zuò chéng tǒng xíng， zhóu xiàn hé cí chǎng fāng xiàng píng xíng。 cí chǎng néng hěn hǎo dì yuē shù yīn jí suǒ fā shè de diàn zǐ liú， zài yáng jí qiāng zhōng shǐ qì tǐ de yuán zǐ（ huò fènzǐ） diàn lí， xíng chéng děng lí zǐ tǐ mì dù hěn gāo de hú zhù。 lí zǐ shù kě yǐ chuí zhí yú zhóu xiàn fāng xiàng de cè xiàng yǐn chū， yě kě yǐ shùn zhe zhóu xiàn fāng xiàng yǐn chū。
3、 PIG lí zǐ yuán
zài wài cí chǎng yuē shù xià chǎn shēng fǎn shè fàng diàn de lí zǐ yuán ， shì hú fàng diàn lí zǐ yuán de gǎi jìn。 zài hú fàng diàn lí zǐ yuán zhōng， yáng jí lìng yī duān hé yīn jí duìchèn de wèi zhì shàng， zhuāng yī yǔ yīn jí děng diàn wèi de duì yīn jí， shǐ yīn jí fā shè de diàn zǐ liú zài zhōng kōng de yáng jí nèi fǎn shè zhèn dàng， tí gāo liǎo diàn lí xiàolǜ， gǎi biàn liǎo fàng diàn jī zhì。 yīn jí yī bān yòng wū kuài zhì chéng， yóu diàn zǐ hōng jī jiā rè， chēng jiān rè yīn jí lí zǐ yuán 。 fǎn shè fàng diàn diàn yā jiào gāo shí， kě zài lěng yīn jí zhuàng tài xià gōng zuò。 zhè shí lí zǐ yuán jié gòu gèng jiā jiǎn dān， chēng wéi lěng yīn jí lí zǐ yuán 。 duì yú gōng shuài jiào dà de lí zǐ yuán ， yīn jí bèi fàng diàn suǒ jiā rè， dá dào diàn zǐ rè fā shè wēn dù， bèi chēng wéi zì rè yīn jí lí zǐ yuán 。
wéi chǎn shēng fēi qì tài yuán sù de lí zǐ， jiāng gāi yuán sù kuì rù lí zǐ yuán de fāng fǎ yòu duō zhǒng。 jiǎn dān de fāng fǎ shì shǐ yòng qì tǐ huà hé wù， yě kě dǎo rù gāi yuán sù de zhēng qì。 mǒu xiē gù tǐ wù zhì hái kě dù zài yīn jí biǎo miàn huò yáng jí qiāng bì shàng， kào fàng diàn zhōng de jiàn shè zuò yòng jiāng gāi wù zhì dǎo rù fàng diàn qū。
4、 shuāng děng lí zǐ tǐ lí zǐ yuán
zài fēi jūn yún cí chǎng zhōng gōng zuò de yī zhǒng hú fàng diàn lí zǐ yuán tā de diàn jí xì tǒng hé cí xì tǒng dū jīng guò jīng xīn 'ān pái , shǐ dé fàng diàn chǎn shēng de děng lí zǐ tǐ fā shēng liǎng cì shōu suō（ jǐ hé gū suō hé cí gū suō）。 yóu yú yǐn chū de lí zǐ liú qiáng dù dà、 liàng dù gāo、 ér zhù tǐ jié gòu yòu bǐ jiào jǐn còu， shǐ yòng shí fēn pǔ biàn。
dà gōng shuài de shuāng děng lí zǐ tǐ lí zǐ yuán néng chǎn shēng 'ān péi jí yǐ shàng de zhèng lí zǐ shù， shì yī zhǒng yòu xiào de qiáng liú lí zǐ yuán 。 zhèng lí zǐ bèi zhōng hé yǐ hòu， jiù zhuǎn huà wéi zhōng xìng shù。 cóng shuāng děng lí zǐ tǐ lí zǐ yuán zhōng kě yǐ zhí jiē yǐn chū fù lí zǐ shù， yě kě yǐ xiān yǐn chū zhèng lí zǐ shù， zài yòng jiànjiē fāng fǎ dé dào fù lí zǐ。
5、 shuāng péng yuán
shuāng děng lí zǐ tǐ lí zǐ yuán hé PIG lí zǐ yuán de zōng hé。 dà gōng shuài de shuāng péng yuán shì yī zhǒng dān diànhè tài de qiáng liú lí zǐ yuán ， kě yǐ yǐn chū 'ān péi jí yǐ shàng de lí zǐ liú。
xiǎo xíng zhuāng zhì yě yòu yòng lái zuò wéi duō diàn hé zhòng lí zǐ yuán de。
cóng wài xíng jié gòu kàn， shuāng péng yuán zhǐ shì zài shuāng děng lí zǐ tǐ lí zǐ yuán de yáng jí wài cè zēng shè yī gè duì yīn jí。 dàn cóng fàng diàn yuán lǐ kàn， tā liǎng zhǒng lí zǐ yuán yòu hěn dà chā bié。 qián sān gè diàn jí zǔ chéng lèi sì yú shuāng děng lí zǐ tǐ lí zǐ yuán de xì tǒng， kàn zuò shì yī gè diàn zǐ yuán。 yóu yú duì yīn jí shàng jiā yòu hé zhōng jiān diàn jí xiāng tóng huò gèng fù xiē de diàn yā， diàn zǐ jiù zài zhōng jiān diàn jí hé duì yīn jí zhī jiān fǎn shè zhèn dàng , gǎi shàn liǎo diàn lí。
6、 zhuǎn hé xíng fù lí zǐ yuán
lì yòng zhèng lí zǐ shù zhuǎn hé chǎn shēng fù lí zǐ de zhuāng zhì。 zhèng lí zǐ shù yǔ gù tǐ wù zhì biǎo miànxiàng hù zuò yòng， huò tōng guò qì tǐ bà fú huò diàn zǐ jiù néng zhuǎn huà chéng fù lí zǐ shù。 zhèng lí zǐ shù kě yǐ yóu xiǎo xíng shuāng děng lí zǐ tǐ lí zǐ yuán tí gōng。 rú guǒ cǎi yòng gāo pín lí zǐ yuán ， zhǐ yào bǎ yǐn chū diàn jí de kǒng dào jiā cháng， jiù néng dé dào fù lí zǐ shù。
7、 jiàn shè xíng fù lí zǐ yuán
yòng zhèng lí zǐ shù qù hōng jī gōng zuò wù zhì， jiù néng dé dào gāi zhǒng wù zhì de fù lí zǐ。 ruò yòng sè lí zǐ shù qù jiàn shè zhōu qī biǎo dì Ⅳ zú yǐ hòu diàn zǐ qīn hé lì jiào dà de yuán sù， kě yǐ dé dào gāi yuán sù wēi 'ān jí de fù lí zǐ shù liú。 ruò shǐ qīng huò yà lí zǐ shù tōng guò yī gè chōng yòu qì tài gōng zuò wù zhì de kǒng dào， jiù néng dé dào shù wēi 'ān de gāi wù zhì fù lí zǐ shù liú。
mù qián lí zǐ yuán jì shù hái zài bù duàn dì fā zhǎn zhe。 huán xíng shuāng děng lí zǐ tǐ lí zǐ yuán dà xíng shuāng péng yuán yǐ kě tí gōng bǎi 'ān jí de qīng zhèng lí zǐ liú cí kòng guǎn xíng fù lí zǐ yuán yǐ dé dào 'ān péi jí de qīng fù lí zǐ shù。 yī xiē xiǎo xíng lí zǐ yuán ， zé jù yòu dī néng sàn、 dī gōng hào、 dī qì hào、 cháng shòu mìng děng tè sè。 zài chǎn shēng duō diànhè zhòng lí zǐ shù de shí yàn zhuāng zhì（ rú diàn zǐ huí xuán gòng zhèn lí zǐ yuán 、 diàn zǐ shù lí zǐ yuán ） zhōng， dōuyǐ dé dào diànhè tài hěn gāo de zhòng lí zǐ。 zhè xiē xīn xíng zhuāng zhì yǐ zhú jiàn bèi huí xuán jiā sù qì suǒ cǎi yòng。 ér néng chǎn shēng gāo wēn děng lí zǐ tǐ de lì yòng guàn xìng yuē shù de jī guāng lí zǐ yuán ， yě chǎn shēng liǎo gāo diànhè tài lí zǐ。
cǎi yòng zǔ hé jiā sù fāng fǎ de zhòng lí zǐ jiā sù xì tǒng zhōng， qián jí jiā sù qì jiāng diànhè tài jiào dī de zhòng lí zǐ jiā sù dào zhào diàn zǐ fú měi hé zǐ de néng liàng， chuān guò gù tǐ bō lí mó huò qì tǐ bō lí qì， jiāng yī bù fēn guǐ dào diàn zǐ bō qù， tí gāo diànhè tài hòu zài zhù jiā sù qì zhōng jì xù jiā sù， yǐ dé dào jiào gāo de néng liàng zēng yì。 zài zhè zhǒng zǔ hé jiā sù xì tǒng zhōng， qián jí jiā sù qì hé bō lí qì， kě yǐ bèi kàn chéng shì yī zhǒng tè shū de zhòng lí zǐ yuán xì tǒng。 |
lí zǐ yuán de yìng yòng－ lí zǐ shù |
ion beam
yǐ jìn sì yī zhì de sù dù yán jīhū tóng yī fāng xiàng yùn dòng de yī qún lí zǐ。
lí zǐ yuán shì yòng yǐ huò dé lí zǐ shù de zhuāng zhì。 wǒ men zhī dào， zài gè lèi lí zǐ yuán zhōng， yòng dé zuì duō de shì děng lí zǐ tǐ lí zǐ yuán ， jí yòng diàn chǎng jiāng lí zǐ cóng yī tuán děng lí zǐ tǐ zhōng yǐn chū lái。 zhè lèi lí zǐ yuán de zhù yào cān shù yóu děng lí zǐ tǐ de mì dù、 wēn dù hé yǐn chū xì tǒng de zhì liàng jué dìng。 shǔ yú zhè lèi lí zǐ yuán de yòu : pān níng fàng diàn xíng lí zǐ yuán shè pín lí zǐ yuán 、 wēi bō lí zǐ yuán 、 shuāng děng lí zǐ tǐ yuán、 fù lì màn lí zǐ yuán děng。 lìng yī lèi shǐ yòng jiào duō de lí zǐ yuán shì diàn zǐ pèng zhuàng xíng lí zǐ yuán ， zhù yào yòng yú gè zhǒng zhì pǔ yí qì zhōng。 cǐ wài， lí zǐ yuán hái yòu biǎo miàn diàn lí yuán、 guāng zhì diàn lí lí zǐ yuán 、 yè tài jīn shǔ lí zǐ yuán děng lèi xíng。 |
lí zǐ shù de zhù yào cān shù |
① lí zǐ shù liú qiáng
jí néng gòu huò dé de yòu yòng lí zǐ shù de děng xiào diàn liú qiáng dù， yòng diàn liú dān wèi A huò mA biǎo shì。
② yòu yòng lí zǐ bǎi fēn bǐ
jí yòu yòng lí zǐ shù zhàn zǒng lí zǐ shù de bǎi fēn bǐ。 yī bān lái shuō， lí zǐ yuán gěi chū de zǒng lí zǐ shù bāo kuò dān diànhè lí zǐ、 duō diànhè lí zǐ、 gè zhǒng fènzǐ lí zǐ hé zá zhì yuán sù lí zǐ děng de lí zǐ shù。
③ néng sàn dù
yóu yú lí zǐ de rè yùn dòng hé yǐn chū dì diǎn de bù tóng， shǐ dé lí zǐ yuán gěi chū de lí zǐ shù de néng liàng duì yào qiú de dān yī néng liàng yòu yī dìng lí sàn， yī bān xī wàng néng sàn dù jìn liàng xiǎo， zài gāo jīng dù de lí zǐ shù yìng yòng zhōng yóu qí shì zhè yàng。
④ shù de jù jiāo xìng néng
yǐ lí zǐ shù de jié miàn hé zhāng jiǎo biǎo shì。 jù jiāo bù hǎo de lí zǐ shù zài chuán shū guò chéng zhōng huì shǐ lí zǐ dà liàng diū shī。 huò dé liáng hǎo jù jiāo tè xìng de lí zǐ shù de zuì zhōng zhàng 'ài shì shù zhōng lí zǐ zhī jiān de jìng diàn pái chì lì， wèile kè fú zhè yī zhàng 'ài， yìng jìn zǎo shǐ lí zǐ huò dé jiào gāo néng liàng。
⑤ lí zǐ yuán de xiàolǜ
yǐ lí zǐ shù xíng shì yǐn chū de gōng zuò wù zhì zhàn zǒng xiāo hào de gōng zuò wù zhì de bǐ lì。
⑥ gōng zuò shòu mìng
lí zǐ yuán yī cì 'ān zhuāng yǐ hòu shǐ yòng de shí jiān。 |
jiā sù lí zǐ shù de zhuāng zhì－ jiā sù qì |
| cóng lí zǐ yuán huò dé de lí zǐ shù de néng liàng yī bān cóng jǐ bǎi diàn zǐ fú dào jǐ wàn diàn zǐ fú。 yīn wéi yòng gāo yǐn chū diàn yā fāng shì huò dé jiào gāo néng liàng de lí zǐ shù shòu dào jī chuān de xiàn zhì， suǒ yǐ bì xū shǐ lí zǐ zài diàn chǎng hé cí chǎng zhōng jiā sù , zhè lèi zhuāng zhì jiào zuò jiā sù qì ( jiàn lì zǐ jiā sù qì ) shǐ yòng gè zhǒng jiā sù qì kě yǐ shǐ lí zǐ huò dé hěn gāo de néng liàng（ rú jǐ bǎi jí diàn zǐ fú）， yě kě yǐ shǐ lí zǐ jiǎn sù， yǐ huò dé néng liàng jiào dī de（ rú jǐ shí diàn zǐ fú） dàn liú qiáng hěn gāo de lí zǐ shù。 |
|
① lí zǐ càn zá yǔ lí zǐ shù gǎi xìng
cóng 20 shì jì 60 nián dài kāi shǐ， rén men jiāng yī dìng néng liàng de péng、 lín huò qí tā yuán sù de lí zǐ zhù rù dào bàn dǎo tǐ cái liào zhōng， xíng chéng càn zá。 càn zá de shēn dù kě yòng gǎi biàn lí zǐ de néng liàng lái kòng zhì； càn zá de nóng dù kě tōng guò jī fēn lí zǐ liú qiáng dù lái kòng zhì。 lí zǐ zhù rù fāng fǎ de chóngfù xìng、 kě kào xìng bǐ kuò sàn fǎ hǎo。 lí zǐ zhù rù càn zá zài bàn dǎo tǐ dà guī mó jí chéng diàn lù de shēng chǎn zhōng yǐ chéng wéi zhòng yào huán jié， yòng lí zǐ zhù rù fǎ qǔ dài jiù de kuò sàn děng gōng yì zài yòu xiē qì jiàn zhōng yǐ chéng wéi bì rán qū shì。
lí zǐ zhù rù zài jīn shǔ cái liào de gǎi xìng zhōng huò dé de jiēguǒ shí fēn yǐn rén zhù mù。 zài cháng yòng jīn shǔ de lí zǐ zhù rù gǎi xìng zhōng， kě yǐ tí gāo jīn shǔ de yìng dù、 kàng fǔ shí xìng néng hé kàng pí láo qiáng dù， jiàng dī jīn shǔ de mó sǔn shuài。 mǒu xiē jué yuán cái liào rú táo qì、 bō lí、 yòu jī cái liào jīng lí zǐ shù zhào shè yǐ hòu， xìng zhì fā shēng zhòng yào de biàn huà， huò dé xīn de yòng tú。
lí zǐ shù zhào shè hé càn zá de guò chéng shì fēi rè píng héng guò chéng， yīn cǐ yòng zhè zhǒng fāng fǎ kě yǐ huò dé yòng yī bān yě jīn hé huà gōng fāng fǎ wú fǎ dé dào de xīn cái liào。 néng liàng jiào dī (50～ 400keV) de zhuān mén yòng yú lí zǐ zhù rù de xiǎo xíng jiā sù qì “ lí zǐ zhù rù jī ”， yǐ chéng wéi yī zhǒng zhuān mén shè bèi， tǐ jī xiāng dāng yú yī tái diàn zǐ xiǎn wēi jìng huò gāo yā shì bō qì， shǐ yòng wéi hù dōuhěn fāng biàn。 zài lèi jīn gāng shí cái liào、 gāo wēn chāo dǎo cái liào、 cí xìng cái liào、 gǎn guāng cái liào děng de yán jiū zhōng， yǐ guǎng fàn yìng yòng lí zǐ shù， yī mén xīn xīng de yě jīn xué ──“ lí zǐ zhù rù yě jīn xué” zhèng zài xíng chéng。
② lí zǐ shù fēn xī
jù yòu yī dìng néng liàng de lí zǐ yǔ wù zhì xiāng hù zuò yòng huì shǐ qí fā shè diàn zǐ、 guāng zǐ、 X shè xiàn děng， hái kě néng fā shēng tánxìng sǎnshè、 fēi tánxìng sǎnshè yǐ jí hé fǎn yìng， chǎn shēng fǎn dàn lí zǐ、 fǎn chōng hé、 γ shè xiàn、 qīng hé、 chuān hé、 lì zǐ děng hé fǎn yìng chǎn wù， kě yǐ tí gōng yòu guān gāi wù zhì de zǔ fēn、 jié gòu hé zhuàng tài děng xìn xī。 lì yòng zhè xiē xìn xī lái fēn xī yàng pǐn tǒng chēng lí zǐ shù fēn xī。 zài lí zǐ shù fēn xī fāng fǎ zhōng， bǐ jiào chéng shú de yòu bèi sǎnshè fēn xī X shè xiàn yíng guāng fēn xī、 hé fǎn yìng fēn xī hé gōu dào xiào yìng（ jiàn gōu dào xiào yìnghè zǔsè xiào yìng） yǔ qí tā fēn xī xiāng jié hé de fēn xī fāng fǎ děng。 cǐ wài， lì yòng dī néng lí zǐ shù hái kě zuò biǎo miàn chéngfèn fēn xī , rú lí zǐ sǎnshè pǔ (ZSS)、 cì jí lí zǐ zhì pǔ (SZMS) děng。 chāo líng mǐn zhì pǔ（ jiā sù qì zhì pǔ）、 dài diàn lì zǐ huó huà fēn xī、 lí zǐ jī fā guāng pǔ、 lí zǐ jī fā 'é xiē diàn zǐ pǔ děng zhèng zài fā zhǎn zhōng。 yòng yú lí zǐ shù fēn xī de MV jí jiā sù qì yǐ yòu zhuān mén de shāng yè huà shè bèi。
③ lí zǐ shù jiā gōng
jiào dī néng liàng de lí zǐ shù guǎng fàn yòng yú gōng yè jiā gōng， rú lí zǐ jiǎn bó、 lí zǐ pāo guāng、 lí zǐ shù dǎ kǒng、 lí zǐ shù kè shí、 lí zǐ shù jiàn shè jīn shǔ mó děng。 |
|
liziyuan
lí zǐ yuán
ionsource
shǐ zhōng xìng yuán zǐ huò fènzǐ diàn lí， bìng cóng zhōng yǐn chū lí zǐ shù liú de zhuāng zhì。 tā shì gè zhǒng lèi xíng de lí zǐ jiā sù qì、 zhì pǔ yí、 diàn cí tóng wèi sù fēn lí qì、 lí zǐ zhù rù jī、 lí zǐ shù kè shí zhuāng zhì、 lí zǐ tuī jìn qì yǐ jí shòu kòng jù biàn zhuāng zhì zhōng de zhōng xìng shù zhù rù qì děng shè bèi de bù kě quē shǎo de bù jiàn。
qì tǐ fàng diàn、 diàn zǐ shù duì qì tǐ yuán zǐ ( huò fènzǐ ) de pèng zhuàng， dài diàn lì zǐ shù shǐ gōng zuò wù zhì jiàn shè yǐ jí biǎo miàn diàn lí guò chéng dōunéng chǎn shēng lí zǐ， bìng bèi yǐn chū chéng shù。 gēn jù bù tóng de shǐ yòng tiáo jiàn hé yòng tú， mù qián yǐ yán zhì chū duō zhǒng lèi xíng de lí zǐ yuán 。 shǐ yòng jiào guǎng fàn de yòu hú fàng diàn lí zǐ yuán 、 PIG lí zǐ yuán 、 shuāng děng lí zǐ tǐ lí zǐ yuán hé shuāng péng yuán。 zhè xiē yuán dōushì yǐ qì tǐ fàng diàn guò chéng wéi jī chǔ de , cháng bèi lóng tǒng dì chēng wéi hú yuán。 gāo pín lí zǐ yuán zé shì yóu qì tǐ zhōng de gāo pín fàng diàn lái chǎn shēng lí zǐ de， yě yòu guǎng fàn de yòng tú。 xīn xíng zhòng lí zǐ yuán de chū xiàn， shǐ zhòng lí zǐ de diànhè tài xiǎn zhù tí gāo , qí zhōng jiào chéng shú de yòu diàn zǐ huí xuán gòng zhèn lí zǐ yuán (ECR) hé diàn zǐ shù lí zǐ yuán (EBIS)。 fù lí zǐ yuán xìng néng jiào hǎo de yòu zhuǎn hé xíng hé jiàn shè xíng liǎng zhǒng。 zài yī dìng tiáo jiàn xià， jī yú qì tǐ fàng diàn guò chéng de gè zhǒng lí zǐ yuán ， dōunéng tí gōng yī dìng de fù lí zǐ shù liú。
gāo pín lí zǐ yuán lì yòng xī bó qì tǐ zhōng de gāo pín fàng diàn xiàn xiàng shǐ qì tǐ diàn lí， yī bān yòng lái chǎn shēng dī diànhè tài zhèng lí zǐ， yòu shí yě cóng zhōng yǐn chū fù lí zǐ， zuò wéi fù lí zǐ yuán shǐ yòng。
zài gāo pín diàn chǎng zhōng， zì yóu diàn zǐ yǔ qì tǐ zhōng de yuán zǐ ( huò fènzǐ ) pèng zhuàng， bìng shǐ zhī diàn lí。 dài diàn lì zǐ bèi zēng de jiēguǒ， xíng chéng wú jí fàng diàn， chǎn shēng dà liàng děng lí zǐ tǐ。 gāo pín lí zǐ yuán de fàng diàn guǎn yī bān yòng pài lè kè sī bō lí huò shí yīng guǎn zhì zuò。 gāo pín chǎng kě yóu guǎn wài luó xiàn guǎn xiàn juàn chǎn shēng， yě kě yóu tào zài guǎn wài de huán xíng diàn jí chǎn shēng。 qián zhě chēng wéi diàn gǎn 'ǒu hé , hòu zhě chēng wéi diàn róng 'ǒu hé。 gāo pín zhèn dàng qì pín shuài wéi 10 □～ 10□ Hz， shū chū gōng shuài zài shù bǎi wǎ yǐ shàng。
cóng gāo pín lí zǐ yuán zhōng yǐn chū lí zǐ kě yòu liǎng zhǒng fāng shì。 yī zhǒng shì zài fàng diàn guǎn dǐng duān chā rù yī gēn wū sī zuò wéi zhèng jí， zài fàng diàn guǎn wěi duān zhuāng yī dài kǒng fù diàn jí， bìng bǎ gāi kǒng zuò chéng guǎn xíng， cóng zhōng yǐn chū lí zǐ liú。 lìng yī zhǒng fāng shì shì bǎ zhèng jí zuò chéng mào xíng， zhuāng zài yǐn chū diàn jí fù jìn， ér fàng diàn qū zé zài tā de lìng yī cè。 bù guǎn cǎi yòng nǎ zhǒng yǐn chū fāng shì， jīn shǔ diàn jí dōuyào yòng shí yīng huò bō lí bāo qǐ lái， yǐ jiǎn shǎo lí zǐ zài jīn shǔ biǎo miàn de fù hé。
zài gāo pín fàng diàn qū yù zhōng jiā yòu héng dìng cí chǎng shí， yóu yú gòng zhèn xiàn xiàng kě tí gāo fàng diàn qū yù zhōng de lí zǐ nóng dù。 yòu shí， hái zài yǐn chū qū yù jiā fēi jūn yún cí chǎng lái gǎi shàn yǐn chū。
tú 1 yī zhǒng dī liú qiáng xiǎo xíng lí zǐ yuán suǒ shì lí zǐ yuán shì yī zhǒng dī liú qiáng de xiǎo xíng lí zǐ yuán 。 gāo pín fàng diàn shì yóu diàn gǎn 'ǒu hé de， pín shuài wéi 20MHz, qì hào wéi 7.5ml/h， kě yǐn chū 500□ A zhèng lí zǐ shù。 qí zhōng yuán zǐ lí zǐ zhàn 80 ％。 yǐn chū lí zǐ shù de néng sàn zhǐ yòu 40～ 50eV。
tú 2 yī zhǒng liú qiáng chǎn 'é gāo de lí zǐ yuán suǒ shì de lí zǐ yuán shì yī zhǒng yòu zhóu xiàng wài jiā cí chǎng， liú qiáng chǎn 'é hěn gāo de lí zǐ yuán 。 gāo pín pín shuài wéi 45MHz， gōng shuài wéi 140W。 qì hào wéi 30ml/h, yǐn chū diàn yā 8kV, kě yǐn chū 10mA zhèng lí zǐ shù。
hú fàng diàn lí zǐ yuán zài jūn yún cí chǎng zhōng， yóu yīn jí rè fā shè diàn zǐ wéi chí qì tǐ fàng diàn de lí zǐ yuán 。 wèile jiǎn shǎo qì hào， fàng diàn qū yù wǎng wǎng shì fēng bì de。 yáng jí zuò chéng tǒng xíng， zhóu xiàn hé cí chǎng fāng xiàng píng xíng。 cí chǎng néng hěn hǎo dì yuē shù yīn jí suǒ fā shè de diàn zǐ liú， zài yáng jí qiāng zhōng shǐ qì tǐ de yuán zǐ（ huò fènzǐ） diàn lí， xíng chéng děng lí zǐ tǐ mì dù hěn gāo de hú zhù。 lí zǐ shù kě yǐ chuí zhí yú zhóu xiàn fāng xiàng de cè xiàng yǐn chū， yě kě yǐ shùn zhe zhóu xiàn fāng xiàng yǐn chū。
tú 3 zhóu xiàng yǐn chū de hú fàng diàn lí zǐ yuán suǒ shì de lí zǐ yuán shì zhóu xiàng yǐn chū de hú fàng diàn lí zǐ yuán 。 gōng qì wéi 8ml/h， kě yǐ yǐn chū 500□ A de zhì zǐ liú， huò zhě 100□ A de qīng fènzǐ liú。
PIG lí zǐ yuán zài wài cí chǎng yuē shù xià , chǎn shēng fǎn shè fàng diàn de lí zǐ yuán ， shì hú fàng diàn lí zǐ yuán de gǎi jìn。 zài hú fàng diàn lí zǐ yuán zhōng， yáng jí lìng yī duān hé yīn jí duìchèn de wèi zhì shàng， zhuāng yī yǔ yīn jí děng diàn wèi de duì yīn jí， shǐ yīn jí fā shè de diàn zǐ liú zài zhōng kōng de yáng jí nèi fǎn shè zhèn dàng， tí gāo liǎo diàn lí xiàolǜ， gǎi biàn liǎo fàng diàn jī zhì。 yīn jí yī bān yòng wū kuài zhì chéng， yóu diàn zǐ hōng jī jiā rè， chēng jiān rè yīn jí lí zǐ yuán 。 fǎn shè fàng diàn diàn yā jiào gāo shí， kě zài lěng yīn jí zhuàng tài xià gōng zuò。 zhè shí lí zǐ yuán jié gòu gèng jiā jiǎn dān， chēng wéi lěng yīn jí lí zǐ yuán 。 duì yú gōng shuài jiào dà de lí zǐ yuán ， yīn jí bèi fàng diàn suǒ jiā rè， dá dào diàn zǐ rè fā shè wēn dù， bèi chēng wéi zì rè yīn jí |
|
- : ion source
|
|
| yīn lí zǐ yuán | jí huà lí zǐ yuán | jī guāng lí zǐ yuán | | péng níng lí zǐ yuán | mài chōng lí zǐ yuán | diàn zǐ pèng zhuàng lí zǐ yuán | | kuài yuán zǐ hōng jī lí zǐ yuán | shuāng děng lí zǐ tǐ lí zǐ yuán | mài chōng zhēn kōng diàn hú lí zǐ yuán | | lí zǐ yuán xuán fú fǎn shè diàn jí | kuài sù yuán zǐ hōng jī lí zǐ yuán | |
|